產(chǎn)品時間:2024-05-27
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小型離子濺射儀 型號:KD02-JS-1600
小型離子濺射儀采用二極(DC)直流濺射原理設(shè)計,適用于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導(dǎo)體材料實驗電極的制作。
小型離子濺射儀 型號:KD02-JS-1600
主要規(guī)格和技術(shù)指標(biāo):
1.靶(上部電極):材料:金,直徑:50mm,厚度:0.1mm 純度:99.999%
2、真空室:直徑:160mm,高:110mm
3.樣品臺(下部電極):濺射面積:直徑:50mm
4.工作真空: 8×10-2—2×10-1 mbar
5.離子電流表:電流:50mA
6.數(shù)顯計丨時器:根據(jù)濺射習(xí)慣設(shè)定單次濺射時間。
7.濺射電壓:-1600DVC
8.真空泵(VTD-4):1.1升/每秒
9.工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣等多種氣體
10.針閥: 配有進氣口,微量充氣調(diào)節(jié),可連接φ4*2.5mm軟管
11. 外型尺寸:360mm×300mm×380mm
小型離子濺射儀 型號:KD02-JS-1600
小型離子濺射儀 型號:KD02-JS-1600